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dignity321新蟲 (初入文壇)
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[交流]
大家看看這個(gè)鎳膜的SEM為什么變成這個(gè)樣子了... 已有5人參與
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上圖是我用硅/二氧化硅/50nm鎳膜上進(jìn)行RTP快速退火后的鎳膜的SEM圖像，溫度900度，圖中亮的部分應(yīng)該是鎳，但是不知道為什么鎳變成這個(gè)樣子了，按理來(lái)說(shuō)鎳的熔點(diǎn)很高，不應(yīng)該融化變成這個(gè)樣子啊，不知道有人知道這是怎么回事嗎？ 是在高純氬氣氛下進(jìn)行的退火。 退火前的鎳膜SEM圖如下： [ Last edited by dignity321 on 2014-1-19 at 15:56 ] |
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2樓2014-01-19 19:30:20
3樓2014-01-19 21:41:43
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6樓2014-01-20 14:18:25
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7樓2014-01-21 09:16:55
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8樓2014-01-23 12:48:11
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