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Joseph820鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
MEMS工藝中做lift off 結(jié)果不理想 已有4人參與
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| 在一個(gè)10mm*20mm*1mm的不銹鋼片上做一個(gè)微加熱器,pattern的最小尺度是50微米,在基底(不銹鋼片)上沉積了5微米厚的二氧化硅,之后在上面用HR504做光刻膠,然后dc sputtering了200nm 鉑. 最后做lift off花費(fèi)了兩周都沒(méi)有把圖案完全做出來(lái),只有一小部分的鉑才掉下來(lái),不知道是什么原因,懇請(qǐng)各位高人幫忙解答~ |
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xiangmengli
金蟲 (正式寫手)
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2樓2014-02-12 18:48:48
3樓2014-02-13 10:07:08
Joseph820
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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4樓2014-02-15 20:58:26
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5樓2014-03-10 17:41:50
chinerican
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6樓2014-03-12 12:53:11
myIDname
木蟲 (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
Joseph820: 金幣+5, ★★★很有幫助, 已經(jīng)找到問(wèn)題原因啦,1.pattern有長(zhǎng)線條陣列;2.光刻膠薄了些,已經(jīng)換更厚的膠OK的. 謝謝你的幫助啊 2014-03-16 16:27:53
Joseph820: 金幣+5, ★★★很有幫助, 已經(jīng)找到問(wèn)題原因啦,1.pattern有長(zhǎng)線條陣列;2.光刻膠薄了些,已經(jīng)換更厚的膠OK的. 謝謝你的幫助啊 2014-03-16 16:27:53
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1. 你的pattern有沒(méi)有長(zhǎng)線條陣列？有的話可能會(huì)增加liftoff難度； 2. sputter的溫度多少？sputter很可能會(huì)超過(guò)150C，這種溫度下有些光刻膠就變質(zhì)了，丙酮什么的根本去不掉。或者說(shuō)可以考慮蒸發(fā)鍍膜，這個(gè)溫度會(huì)低一點(diǎn)。 3. 確定光刻膠沒(méi)有過(guò)期？ 4. 光刻膠多厚？薄的話不容易去膠； 5.考慮超聲。但是得保證Pt和SiO2的黏附性足夠好，或者說(shuō)你Pt底下有沒(méi)有Ti或者其它金屬層（標(biāo)準(zhǔn)做法是Ti+Au+Pt）； 6. 考慮稍微加熱，比如60C。 |
7樓2014-03-13 23:45:48
二十二點(diǎn)五十
鐵蟲 (初入文壇)
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8樓2015-09-28 19:54:44
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