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納米制備藝術(shù)（20）：硅尖列陣制備工藝中的 高尖列陣 已有3人參與
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【本木蟲鄭重申明，所有在這里展示的結(jié)果全部是本木蟲自己的工作，無(wú)一是將他人結(jié)果搬來(lái)的。 通過(guò)調(diào)節(jié)RIE的腐蝕條件，可以獲得高尖端列陣。頂上圓盤是腐蝕后的SiO2薄膜加剩余光刻膠。 甚至可以通過(guò)調(diào)節(jié)腐蝕條件，得到柱子列陣而非尖端列陣。 |
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