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納米制備藝術(shù)（26）：納米T形柵和GAMA柵的研制
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【本木蟲(chóng)鄭重申明：本木蟲(chóng)在這個(gè)網(wǎng)站里公布的所有納米加工結(jié)果都是本人以往的親身工作，無(wú)一抄搬他人成果】 采用PMMA/Al/UVIII光刻膠和電子束光刻技術(shù)，先要在光刻膠中做出這樣的模板，然后蒸發(fā)鍍金屬層，最后去膠剝離，就做成了這樣的T形柵。而在EBL中，要做兩次曝光，一次是對(duì)寬的頭部，另一步是對(duì)細(xì)的腳部進(jìn)行曝光。顯影后就出現(xiàn)了T形柵極。 同樣，如果將腳部細(xì)線故意偏離中心，就做成了GAMA柵。 通過(guò)去膠剝離（lift-off）以后的T形柵。希望大家能欣賞我做的納米T形柵。 |
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 納米制備的藝術(shù) |
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