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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 銅膜的濕法刻蝕
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miduouncle新蟲 (初入文壇)
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[交流]
銅膜的濕法刻蝕 已有2人參與
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| 目前在做有關(guān)銅膜（100um厚）的濕法刻蝕，銅膜是電弧噴涂上去的，比較粗糙，采用高或低濃度的FeCl3溶液進(jìn)行腐蝕，都無法獲得理想的圖形，用光刻膠做掩膜，有500um的寬度。請各位幫幫忙，怎樣才能獲得比較好的刻蝕圖形。 |
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2樓2014-03-14 17:55:46
exciting73
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3樓2014-05-06 14:01:01
miduouncle
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4樓2014-08-06 22:09:34
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