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沉積速率 非�？斓陌胁耐扑] >1nm/s
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在做納米多層膜結(jié)構(gòu)，因為涉及到晶體薄膜，其需要高溫退火處理，工序需要自己生長基底 請問哪些靶材能在SiO2或Ag上快速生長，越快越好，要鍍0.5um左右  ，謝謝！ |
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2樓2014-03-11 09:08:51
3樓2014-03-11 13:15:47
4樓2014-03-11 17:26:18
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