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zcyseyzju新蟲 (小有名氣)
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[求助]
等離子體氧化要采用什么儀器 已有1人參與
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| 想將Ni氧化，表面形成一層20nm以內(nèi)的NiO，以前是在空氣中熱氧化，但是重復(fù)性穩(wěn)定性不好，看文獻(xiàn)里有提到plasma oxidation，但是細(xì)節(jié)方面不詳細(xì)，網(wǎng)上一搜貌似都是等離子體電解氧化，和這種腔體里的不一樣。想請教一下懂這方面的蟲友，等離子體氧化有專門的儀器么，要采用什么儀器？ |
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2樓2014-03-13 18:24:22
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3樓2014-03-16 08:57:05
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4樓2014-03-16 14:42:23
5樓2015-07-12 20:16:29
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