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武光食色金蟲 (小有名氣)
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[求助]
V2O3摻雜Cu做阻變器薄膜,應該怎么做到良好的摻雜?
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| V2O3摻雜Cu做阻變器薄膜,應該怎么做到良好的摻雜?如果使用組合靶,選擇什么比例比較合適?著急啊,老板說這幾天就把組合靶比例定下來,我們只是比較摻雜和不摻雜,不比較摻雜量。但是相關(guān)文獻里也沒有涉及比較好的摻雜量的選擇。另:不知道有沒有其他合適的摻雜方法呢?實驗室用的是磁控濺射設(shè)備,不是溶膠凝膠。 |
金蟲 (小有名氣)
金蟲 (正式寫手)
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