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cx527新蟲 (初入文壇)
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[求助]
RF—PECVD 沉積摻雜微晶硅薄膜，PH3的流量應(yīng)該多大
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本人菜鳥一枚，請問各位大神們，RF-PECVD給微晶硅薄膜摻雜時(shí)，PH3的流量計(jì)應(yīng)該選擇多少sccm的？？ 謝謝啦！ |
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2樓2014-03-24 17:44:36
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