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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 高分子 » 高分子化學 » 怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？
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gaala新蟲 (小有名氣)
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[求助]
怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？ 已有1人參與
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各位大俠，我是做MEMS/NEMS的，來高分子版塊請教哈：我打算拿Kapton的一款薄膜做flexible substrate，但是發(fā)現(xiàn)該薄膜表面有一層含氟聚合物（查的數(shù)據(jù)手冊，叫做fluorocarbon resin），而又發(fā)現(xiàn)該層含氟聚合物是疏水的，所以我光刻的時候，沒辦法涂膠上去的啊，不知道我應該怎么處理呢？ 還望不吝賜教！ 謝謝啦！ |
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userhung
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4樓2014-04-07 08:19:01
gaala
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3樓2014-04-07 02:57:10
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