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XRD 搖擺曲線的問題 （薄膜專業(yè)） 已有3人參與
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各位大神，小弟有關(guān)于XRD 搖擺曲線的問題想要請教大家。如果有一試驗薄膜，是Cu3N生長在非晶glass上，有所謂的XRD 搖擺曲線測試這個說法嗎？有的話該如何測試呢。 如果Cu3N薄膜外延生長在單晶上，且外延生長質(zhì)量還不錯，那么搖擺曲線又是怎么測試呢？ 按照我暫時的拙劣理解：如果薄膜在單晶上外延生長比較好，那么采用omega/2theta掃描形式掃描搖擺曲線。假設(shè)我想看Cu3N（111）晶面（2theta=40.893°）的FWHM，我僅僅是將2theta角設(shè)定為35.893°~45.893°，然后掃描形式選擇為omega掃描？這樣跟我做theta-2theta從20°~80°的out-of-plane面外掃描有啥區(qū)別呢？完全就是一回事嘛，只不過掃描速度不一樣罷了？？？ 小弟試探性的測試了Cu3N在glass上的omega掃描（2theta角設(shè)定為35.893°~45.893°），無峰。 |
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 薄膜 |
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