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漫江碧透木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
關(guān)于CMP中材料去除速率的計(jì)算
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| 最近開(kāi)始接觸化學(xué)機(jī)械拋光（CMP)課題，讀了好多文獻(xiàn)，每個(gè)文獻(xiàn)里邊都有材料去除速率（MRR)的數(shù)據(jù)，但是材料去除速率究竟是如何計(jì)算的？用哪個(gè)公式�。渴怯�(jì)算機(jī)軟件直接讀出來(lái)的么？并且不同文獻(xiàn)里邊MRR的單位還會(huì)不一樣，MRR的表征有多個(gè)方法嗎？希望與有過(guò)CMP課題研究的蟲(chóng)蟲(chóng)交流下，往不吝賜教。 |
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