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玲子bettina新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅片自組裝鍍膜前的親水處理
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各位大俠，請教一下，我把硅片用堿法刻蝕工藝腐蝕成了具有一定高度的圖形，然后氫氟酸清洗一分鐘，接下來用雙氧水/氨水做親水處理，以便后續(xù)自組裝鍍膜，可是在做親水處理時(shí)，硅片表面一直冒氣泡，疑似硅與溶液發(fā)生了反應(yīng)，請問這個(gè)親水反應(yīng)過程會不會把我刻蝕成的圖形給毀掉啊，圖形高度大概有幾百nm？ |
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wdlnjau
銀蟲 (小有名氣)
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3樓2014-11-13 09:31:44
2樓2014-05-05 09:57:40
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