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熱蒸發(fā)做的30nm Al，出腔后在空氣中被氧化？
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熱蒸發(fā)做的30nm Al，出腔后再空氣中被氧化，一般情況下，Al2O3能達到多厚，30nm會被完全氧化完嗎？在空氣中，Al會被氧化多厚？ 如果進行退火，Al或被完全氧化成Al2O3嗎，還是AlOx，請問氧化層中有氧空位嗎？？？ |
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