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褲腿兒銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
咨詢一個PLD鍍膜的問題
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昨天想用SRO靶材在STO沉底上鍍一層膜，作為鐵電材料的緩沖層。。 但是真空度從早上6點(diǎn)抽到下午3點(diǎn)，還打不到實(shí)驗(yàn)用的本底真空度，，特別緩慢。。 之前一天別的同學(xué)就很快到達(dá)目標(biāo)做成實(shí)驗(yàn)了，今天輪到我就不行了。。 我想跟大家交流一下到底是什么問題，我有下面的猜測： 1、這個SRO靶材是11年買的，就用了一次，然后沒有儲存在除濕柜里保存，是不是跟靶材放置太久有關(guān)。 如果是，怎么處理這個靶材才能用。 2、PLD儀器有問題，需要修理。。 請知道的人踴躍發(fā)言，，能解決問題的會再追加金幣（雖然我的金幣不多）。。 |
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wiseroy
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2樓2014-04-29 08:38:17
褲腿兒
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3樓2014-04-29 18:16:59
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4樓2014-04-30 11:25:21
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