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PLD方法制備ZnO薄膜的顏色不穩(wěn)定,求解??? 已有2人參與
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| 我用脈沖激光燒蝕Zn靶材,腔內(nèi)通O2, O2放電。每次燒蝕,能量都保持在40mJ,可是樣品的顏色不盡相同,有深有淺,有深黃色、深紫色、黃色也有淺紫色。不知道是不是薄膜的厚度變化導(dǎo)致的,或者是其他原因?qū)е碌摹? |

至尊木蟲(chóng) (知名作家)
| 估計(jì)是ZnO薄膜的厚膜不均勻所致,這是PLD方法的特點(diǎn),特別是對(duì)大面積PLD沉積均勻性會(huì)更嚴(yán)重。另外,ZnO是容易產(chǎn)生氧空位缺位半導(dǎo)體,也可能與氧空位的濃度有關(guān),建議測(cè)試一下PL譜。 |

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