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suchaohua新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助，請問單晶Si（100）硅片，它的基準(zhǔn)線取向是什么方向？？ 已有2人參與
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求助，請問單晶Si（100）硅片，它的基準(zhǔn)線取向是什么方向？？ Si（110）和Si（111）呢？ 還有，單晶Si（100）和Si（001）硅片有沒區(qū)別？ 謝謝��！ |
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2樓2014-05-08 13:10:32
suchaohua
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3樓2014-06-05 15:52:53
suchaohua
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4樓2014-06-05 20:33:00
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
suchaohua: 金幣+3, ★★★★★最佳答案, 謝謝！ 2014-06-08 18:35:21
suchaohua: 金幣+3, ★★★★★最佳答案, 謝謝！ 2014-06-08 18:35:21
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每一種 wafer 都有相應(yīng)的參考基準(zhǔn)。 （100）和（001）晶向的wafer其實就是一種，你怎么叫都可以，因為Si 的晶體結(jié)構(gòu)決定了這種性質(zhì)，金剛石結(jié)構(gòu)。其實對于閃鋅礦結(jié)果的III-V wafer 也是一個樣的。 對于參考邊的晶向，Si的不是很清楚具體是什么，但像Ge wafer 的話，對于（100）晶向wafer，通常是<100>和<110>晶向的，此處通常用晶向族表示，因為無法嚴(yán)格的區(qū)分出[100],[010]等之間的差異，你定義其中一個其他自然而然就出來了，<110>也是一樣的。 對于III-V族的話，則有相對明確的定義，像（100）晶向的參考邊的話，Primary Flat基本定義為[0-1-1] EJ 標(biāo)準(zhǔn)。 |
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8樓2019-02-21 10:38:53
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