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xihuannilww金蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
絲網(wǎng)燒結(jié)后，電池片表面發(fā)白，測(cè)試SEM表現(xiàn)PE氮化硅脫落，請(qǐng)問(wèn)什么原因那? 已有1人參與
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
xihuannilww: 金幣+50, 謝謝 2014-05-13 08:29:25
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
xihuannilww: 金幣+50, 謝謝 2014-05-13 08:29:25
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有幾個(gè)可能的原因，要逐步排除，首先在pecvd的前一道工序是否硅片都是干凈的，第二是鍍氮化硅膜時(shí)工藝參數(shù)是否合適。第三，鍍膜室內(nèi)是否沒(méi)有太多沉積物。 [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
2樓2014-05-13 06:21:42
xihuannilww
金蟲(chóng) (初入文壇)
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3樓2014-05-13 08:19:49
Sahnrain
鐵桿木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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4樓2014-05-14 11:20:21
xihuannilww
金蟲(chóng) (初入文壇)
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5樓2014-05-14 17:19:09
6樓2014-05-20 11:11:24
yuan8863
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
Olivia
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