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kevin_yuan銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
哪里或哪個實驗室可以做硅片的改性?上海的或上交的最好,有償幫忙(20金幣奉上) 已有1人參與
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http://www.gaoyang168.com/bbs/viewthread.php?tid=7418145&target=self&page=1 接著這個帖子的。我不是這一行的,自己買材料做硅片疏水一方面費時費力,一方面可能效果還不好。所以請各位幫忙或提供信息,有償幫忙做幾片疏水處理的硅片。我的要求就是接觸角大于90°,大多少我自己心里也沒譜。另外,我要求的是做成表面改性(我的實驗只是需要硅片疏水處理,不需要在其上做光刻或其他工藝),希望可以重復使用(具體這個我不太懂,不知道改性之后是否可以重復使用)。 另外,我想了解下,是否疏水處理會影響硅片的導電性? 請大家?guī)兔Γ绻巧虾5母咝#ㄓ绕涫巧辖唬┗蜓芯克詈,有償勞動,價格可談。 |
捐助貴賓 (著名寫手)
靜靜

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靜靜
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單晶硅本身是疏水的,但是會有原生氧化層,所以會表現(xiàn)的親水。用HF腐蝕掉原生氧化層,會表現(xiàn)出一定的疏水,但是在空氣中一暴露會迅速產(chǎn)生原生氧化層,變的親水。所以泡完HF最好立即使用。 當然,我們還有很多的方法讓硅片表面疏水,比如鍍各種疏水薄膜。鍍膜會有一定的厚度,那么很多情況下大家不愿意用,所以還會有很多別的方法,比如表面處理。偶聯(lián)劑是一種常用的方法,在半導體領域,有非常常用和便宜的偶聯(lián)劑,HMDS,浸泡,涂敷,熏蒸,都可以達到目的。plasma表面鈍化處理也是常用的方法,形成碳基的鈍化層,類似特富龍,疏水性很好。表面處理形成的薄膜會非常薄,都是納米水平的。 這些處理不會對硅層電阻有什么影響 |

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