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lzg919530615金蟲 (正式寫手)
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進(jìn)行光刻之后的刻蝕，有什么腐蝕液能刻蝕掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反應(yīng)？ 已有7人參與
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| 進(jìn)行光刻之后的刻蝕，有什么腐蝕液能刻蝕掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反應(yīng)呢？謝謝！ |
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2樓2014-05-21 21:57:39
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銦錫氧化物是摻雜滴，要去除肯定一起沒了親 4樓2014-05-22 11:07:00
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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http://www.zh-kv.com/Kaivo/TechView.asp?ID=22&SortID=20 腐蝕液的主要成分是一種王水（HCl+HNO3混合液），ITO主要成分In2O3：SnO2=9:1的固溶體，In2O3與SiO2、SnO2相比，化學(xué)穩(wěn)定性要差很多，所以可以保證腐蝕液在腐蝕ITO時(shí)，不會(huì)腐蝕玻璃的SiO2阻擋層。 |
5樓2014-05-22 11:07:04
6樓2014-05-22 17:17:18
7樓2014-05-22 17:34:07
babyoflion
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9樓2014-05-24 15:31:20
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10樓2014-05-27 15:02:14
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