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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » SOI結構的高溫氫氣退火
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[交流]
SOI結構的高溫氫氣退火
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| 我做的是基于 SOI 的光波導結構，想利用高溫氫氣退火來降低波導表面粗糙度。請問大家是否知道國內哪里可以做1100°左右的氫退火工藝？ |
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