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[求助]
求幫忙看XRD圖譜 已有1人參與
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小弟在硅片上長(zhǎng)氮化物，做了XRD得到下圖，第一次做，看不懂，強(qiáng)度很低，不知道怎么去分析，，求哥哥姐姐們指導(dǎo)下。。 感覺測(cè)出的效果很差，和文獻(xiàn)相差比較遠(yuǎn)。小弟懷疑是否已經(jīng)結(jié)晶。用的是X‘Pert測(cè)得。 另外，測(cè)的2θ角度調(diào)大后，想看看si基板的圖譜，但是沒出現(xiàn)，不知是不是小弟測(cè)試的方法有問題。氮化物薄膜厚度大概50nm左右。。 |
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duckliton
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2樓2014-05-23 15:26:40
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4樓2014-05-24 00:26:25
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