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milkyways木蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
干燥氧氣下不同溫度對(duì)生長(zhǎng)氧化硅平整度的影響
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| 用干燥氧氣在硅片上長(zhǎng)氧化硅，厚度100nm左右，要求要盡量平（粗糙度�。３Ｓ玫臏囟龋�900度，1000度和1100度下，哪個(gè)溫度生長(zhǎng)的氧化硅最平？另外，我的硅片不太平（主要是3nm左右的起伏），高溫加熱能不能使硅片變平些，然后再生長(zhǎng)氧化硅以減小粗糙度？十分感謝 |
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