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有關(guān)晶體分析的問(wèn)題
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| 利用濺射方法制備了AlN薄膜，XRD分析發(fā)現(xiàn)是fcc-AlN的衍射峰薄膜，表面XPS分析發(fā)現(xiàn)在72eV的位置有Al的峰出現(xiàn)，而對(duì)表面用Ar+離子轟擊后這個(gè)Al的峰就沒(méi)了。我想知道Al在薄膜中是怎么存在的？要是存在于晶格間隙，那就是Al-N鍵了，應(yīng)該不會(huì)只是Al�。∈谴嬖谟诰Яｉg隙嗎？會(huì)不會(huì)存在于晶粒中而還沒(méi)有進(jìn)入晶格或者是晶格間隙呢？因?yàn)閷?duì)晶體不是很了解，請(qǐng)大家?guī)兔Ψ治鲆幌�，謝謝！ |
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