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lsyguanghua銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
四氯化硅問題 已有1人參與
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| 想把四氯化硅定量控制進(jìn)爐子做CVD，用什么辦法好？鼓泡貌似也不能精準(zhǔn)控制流量？流量計(jì)？廠家也不確定~~有經(jīng)驗(yàn)的指點(diǎn)迷津~~密封性要求，耐腐蝕性要求，第一次遇到，求助求助 |
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shakic 
金蟲 (初入文壇)
流量計(jì)專家
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
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- 專業(yè): 流體力學(xué)
2樓2014-06-07 08:31:26
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