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[求助]
BCB上sputter的ITO，退火后裂是什么原因？ 已有1人參與
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應該不是升溫速度的原因。 有人用過BCB嗎？都是什么過程完全固化的啊？ ITO想400度退火15分鐘，怎么能不裂啊。。 |
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2樓2014-06-03 11:25:08
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