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shuitong110銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
半導(dǎo)體工藝仿真軟件TCAD 咨詢
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這個軟件可以仿真硅波導(dǎo)表面經(jīng)過熱氧化過程后的粗糙度變化嗎？ 是不是只可以仿真熱氧化工藝后的膜厚 表面粗糙度的變化 （nm量級）軟件仿真結(jié)果 有這個相關(guān)信息嗎？ |
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a370910527
木蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體科學(xué)與信息器件
2樓2014-06-06 14:55:37
shuitong110
銀蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
3樓2014-06-06 16:26:29
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