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nano231鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
SEM的ED 面掃 點分辨原理和點分析精度 已有1人參與
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rt。 用SEM（FEI）的EDS（Bruker）面掃功能測定3-20微米尺寸的球形樣品的元素分布，結(jié)果發(fā)現(xiàn)顆粒和背景的邊界清晰，而目標(biāo)元素均呈均勻分布狀態(tài)。但是實驗室同學(xué)認為，EDS mapping的點分辨率比較低（他認為大于500nm），所以不能僅憑該結(jié)果就下結(jié)論。 故，想了解下，SEM-EDS mapping的點分辨原理具體是什么，而點分辨率大致是多少？考慮到不同儀器各有不同，希望各位蟲友結(jié)合所用設(shè)備談?wù)勛约旱慕?jīng)驗。 |
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gxytju2008
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
nano231: 金幣+50, ★★★很有幫助 2014-06-09 15:34:53
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nano231: 金幣+50, ★★★很有幫助 2014-06-09 15:34:53
| 上圖看看，看參數(shù)設(shè)定，聚焦點x,y向大概幾個nm沒有問題，主要問題是z向，eds信號作用深度有一個微米以上的，所以你拿到的不是表面這個nm級別的分辨率的，尤其對于掃描eds，mapping就是電子激發(fā)x射線啊，也是一個點一個點采譜然后根據(jù)元素特征峰強度對每個點作圖得到的 |
2樓2014-06-06 17:19:22
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