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杰克高杰木蟲 (初入文壇)
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[求助]
使用離子束在硅片上沉積AlN，使用XRD測試結(jié)果只含N不含Al。為什么？
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| 我使用的條件是襯底加熱300度，沉積30分鐘，氮氣25 sccm, 氬氣 25 sccm。 |
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