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stephaniepyj金蟲 (小有名氣)
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[求助]
納米級氧化硅particle的穩(wěn)定性問題
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| 各位大俠，現(xiàn)測CMP中的slurry穩(wěn)定性，初始ph在4.8左右，雖然本身純particle在此PH區(qū)間不穩(wěn)定，但項(xiàng)目需要此運(yùn)用，隨著時間增長，PH值和meansize就是不穩(wěn)定，怎么破？我的體系是氧化硅particle，硅烷耦合劑KH902，還有一些抗蝕劑和螯合劑，求方法！ |
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