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Easony至尊木蟲 (知名作家)
老頑童
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[求助]
化學氣相沉積方面的問題！只要回答的好金幣不是問題！ 已有1人參與
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碳源氣體如果是用載氣H2進入反應(yīng)沉積室，那么如何保證碳源氣體的流量和流速的精度？是通過載氣的流量和流速么？ 碳源氣體可能是氣態(tài)，也可能是液態(tài)，液態(tài)用載氣帶蒸汽好理解，但是氣態(tài)用載氣是什么原理呢？ 而且液態(tài)源用載氣能保證進入氣體精度么？ |
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6樓2014-06-26 21:20:18
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