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liuboting新蟲 (小有名氣)
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請(qǐng)問(wèn)大家有沒(méi)有關(guān)于Si-Ga回熔刻蝕反應(yīng)的相關(guān)文獻(xiàn)，我想了解機(jī)理。 已有1人參與
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在Si基外延生長(zhǎng)GaN時(shí)通常會(huì)發(fā)生Si-Ga回熔刻蝕反應(yīng)，想問(wèn)問(wèn)大家有沒(méi)有關(guān)于Si-Ga回熔刻蝕反應(yīng)的相關(guān)的介紹文獻(xiàn)，我想了解一下其中的機(jī)理。 謝謝大家！ |
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happy3236
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liuboting
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3樓2014-07-03 21:52:42
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4樓2014-07-03 23:39:30
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