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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 鋁靶電流不穩(wěn)定怎么回事
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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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鋁靶電流不穩(wěn)定怎么回事 已有6人參與
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最近在使用柱狀鋁靶時，問題連連，鋁靶接的直流電源，電流為恒流形式： 其一. 電壓低，不正常，可能是由于某地方接觸，增大電壓時會短路開不起來 其二. 當測量靶時，其中靶一支靶短路（一開始沒有短路，開一會后就短路了），另一支靶的電流就很低了，電壓很高600V以上了，正常情況應該是400V，即使比較低的電流也相當不穩(wěn)定，電流跳的不停，不知道怎么回事； 其三. 增加靶電流的時候，爐內氣壓也增加，而且比較明顯。 這三個問題今天還同時出現(xiàn)，咋回事啊  |
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