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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
鋁靶為什么會(huì)打成這樣？
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我用直流濺射鋁，以前用的好好的，最近就是開不起來。開的時(shí)候氣壓波動(dòng)好大，且靶表面打火，即使用很小的電流濺射很久了還是打火，而且裝靶前用砂紙把表面打磨了一遍。把靶拆下來后就成這樣了，如圖。什么原因會(huì)導(dǎo)致靶這樣？ IMAG1570.jpg IMAG1569.jpg |
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zxy19871129
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2樓2014-07-07 17:10:18
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3樓2014-07-07 20:28:40
peterflyer 
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不能用把打磨打磨靶表面，如有需要打磨需用銼刀打磨，用酒精布擦洗干凈表面。 開動(dòng)的時(shí)候氣壓波動(dòng)大，從圖片上看是旋轉(zhuǎn)靶，說明裝配的端頭(End-block)和靶筒沒有裝配好，通水的時(shí)候會(huì)漏水造成氣壓波動(dòng)，靶筒自身有漏的可能性非常小。 漏水的情況下會(huì)引起打弧，成膜的質(zhì)量和特性會(huì)變差 |
7樓2014-07-08 18:19:59
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