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瓦次加布銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
鍍鎂層的厚度可控化,請(qǐng)問最好使用什么樣的技術(shù)? 已有1人參與
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想在一個(gè)半導(dǎo)體材料上面鍍一層鎂,最好能夠?qū)︽V層厚度可控化,請(qǐng)問最好使用什么樣的技術(shù)? 已經(jīng)在網(wǎng)上看到有磁控濺射技術(shù)和蒸發(fā)鍍鎂技術(shù),請(qǐng)問有哪位大神能為我比較一下這兩種技術(shù)的不同。 |

木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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蒸發(fā)鍍:通過蒸發(fā)鍍加熱使膜材蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍有電阻加熱式、電子束加熱式、感應(yīng)加熱式。蒸發(fā)鍍主要做玻璃和塑膠。 磁控濺射鍍:磁控靶是靜止電磁場(chǎng),磁場(chǎng)為曲線形,以磁場(chǎng)改變電子運(yùn)動(dòng)方向,是展于高密度的等離子體異常輝光放電。其特點(diǎn)是濺射能量低,基本溫度低。磁控能對(duì)多種金屬進(jìn)行濺射,膜厚和顏色比較容易控制,膜層顆粒細(xì)能滿足良好外觀要求。 1、真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)的應(yīng)用 http://wenku.baidu.com/link?url= ... ZcTYmNXhABRpnGDTaR_ 2、磁控濺射技術(shù)新進(jìn)展及應(yīng)用 http://wenku.baidu.com/link?url= ... aA4SZc8rLBiZl70zVrm 3、磁控濺射技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn) http://wenku.baidu.com/link?url= ... lVZ7rIRkv_wDL63HqpK |
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