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liy9092新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
酸刻蝕鈦酸鍶薄膜怎么辦？ 已有1人參與
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| 大家好，我的兩個(gè)鈦酸鍶薄膜都是120nm厚，紫外光刻后光刻膠有幾微米厚，把兩個(gè)薄膜分別放進(jìn)6%和18%的磷酸溶液中刻蝕掉裸露出來(lái)的鈦酸鍶薄膜，但半個(gè)小時(shí)也沒(méi)什么效果，因?yàn)楣饪棠z不能長(zhǎng)時(shí)間在白光中，所以半個(gè)小時(shí)的這么長(zhǎng)時(shí)間光刻膠也壞了，我看人家酸刻蝕都是幾十秒而已，請(qǐng)問(wèn)我該怎么辦？ |
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exciting73 
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2樓2014-07-17 15:01:31
liy9092
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3樓2014-07-17 22:21:48
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4樓2014-07-18 12:37:42
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