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求大神指教，多弧離子鍍膜中，靶基距、氣體壓強分別與沉積速率的關(guān)系？
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| 小弟，初出茅廬，求大神指教，多弧離子鍍膜中，靶基距、氣體壓強分別與沉積速率的關(guān)系？ |
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