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[求助]
射頻磁控濺射二氧化硅問題 已有1人參與
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| 我用射頻磁控濺射鍍二氧化硅薄膜，能起輝，功率約160w，濺射2小時，拿出來感覺沒鍍上，顏色上沒有任何差異？求問是什么原因.若鍍上二氧化硅是什么顏色？輝光應(yīng)該是什么顏色？ |
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huanyingmofa
鐵蟲 (初入文壇)
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2樓2014-07-29 15:46:33
3樓2014-07-30 08:40:04
huanyingmofa
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4樓2014-07-31 16:19:40
fghijklmn
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- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
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雖然是個墳……但是我和樓主的情況一樣。藍(lán)寶石沉底，二氧化硅靶材，氬氣流量8sccm，120w，十分鐘。鍍完后拿出來感覺就沒任何變化……樓主后來解決了嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2017-01-05 14:55:10
6樓2017-06-01 17:47:07
7樓2017-09-12 11:34:39
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