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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » CVD法合成碳納米管薄膜
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qhl635408756新蟲 (初入文壇)
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[求助]
CVD法合成碳納米管薄膜 已有5人參與
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先用磁控濺射在藍寶石基底上濺射了一層Ni。 然后放入管式爐CVD中，Ar為保護氣體，流量120sccm。 先在500攝氏度還原40min，氫氣流量為10sccm。 然后升到800攝氏度生長，甲烷流量10sccm，Ar120sccm，氫氣10sccm，生長一個小時。 都是常壓下進行的。 請問各位高手，為什么藍寶石基底上沒有碳納米管生成呢？ |
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metaliium
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qhl635408756: 金幣+5, ★有幫助 2014-08-06 14:23:42
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2樓2014-08-06 13:48:49
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