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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 晶體 » 測試表征 » XRR測薄膜厚度
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zhaoyue0512新蟲 (初入文壇)
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[求助]
XRR測薄膜厚度 已有2人參與
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最近用X ray reflectivity來測薄膜厚度，用的是ITO/glass substrate薄膜材料是TiO2，感覺用軟件擬合得到的厚度結(jié)果并不理想。希望有相關(guān)經(jīng)驗的蟲友能夠幫忙解答一下，一般用的XRR數(shù)據(jù)分析軟件是哪個，做XRR的時候樣品尺寸的影響大不大，一般的樣品尺寸有多少，我最近打算把substrate換成硅片希望能夠得到更好的結(jié)果。 非常感謝！ |
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penglong66
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4樓2015-04-22 11:34:39
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