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zhaoyue0512新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
XRR測(cè)薄膜厚度 已有2人參與
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最近用X ray reflectivity來(lái)測(cè)薄膜厚度，用的是ITO/glass substrate薄膜材料是TiO2，感覺(jué)用軟件擬合得到的厚度結(jié)果并不理想。希望有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的蟲(chóng)友能夠幫忙解答一下，一般用的XRR數(shù)據(jù)分析軟件是哪個(gè)，做XRR的時(shí)候樣品尺寸的影響大不大，一般的樣品尺寸有多少，我最近打算把substrate換成硅片希望能夠得到更好的結(jié)果。 非常感謝！ |
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z0805yz
新蟲(chóng) (初入文壇)
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7樓2015-10-08 10:16:25
cc250
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2樓2014-09-11 10:40:43
zhaoyue0512
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3樓2014-09-13 04:20:26
ZJtao
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4樓2015-04-22 11:34:39
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