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plqIMR新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
四（二甲）氨基鋯+H2O ALD法合成氧化鋯薄膜技術(shù)問(wèn)題
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| 各位蟲(chóng)友 本人在做ALD合成氧化鋯薄膜 但是基本不成膜 光學(xué)顯微鏡下觀察到的全是顆粒 不知什么原因 求高人指點(diǎn) 我們用的設(shè)備是savannah S100,recipe是Cambridge Nanotech 公司提供的，recipe我附在附件上了 哪位大神幫我看看到底是哪里出了問(wèn)題謝謝 |
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2014-08-26 09:55:23, 160.42 K
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