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renhuangfuxi
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[求助]
關(guān)于采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積MPCVD制備石墨烯的疑惑
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各位大神：小弟最近正在“摸索用MPCVD制備大面積石墨烯，可是剛在起步階段就備受打擊： （1）發(fā)現(xiàn)制備的東西不是薄膜，也不知道是什么。產(chǎn)物就像是平時的“鍋底灰”一樣。小弟實在不知道這是什么原因造成的，是因為氣壓的原因還是因為溫度不夠，盼望各位大神指教； （2）關(guān)于采用銅膜作為基底，發(fā)現(xiàn)溫度還未升上來，就已經(jīng)被氫等離子刻蝕得差不多了，所以就如何使用MPCVD在短時間內(nèi)升高溫度一并向各位大神求教。 （3）如果這個主題在這個版塊不合適，那小弟應(yīng)該在哪個版塊發(fā)表。   |
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