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ycyzrenlifei金蟲(chóng) (小有名氣)
南理漢子
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[求助]
如何在SiO2(二氧化硅)上加工一條微米級(jí)別的「導(dǎo)線(xiàn)」？ 已有3人參與
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如圖所示. 1.這根導(dǎo)線(xiàn)由兩種材料（鎳鉻—銅鎳）金屬連接而成。 2.導(dǎo)線(xiàn)寬度大約在30微米寬。 這樣的一個(gè)玩意兒該如何做呢？ ———————————————————————————— 我的思路： 第一步：在二氧化硅上涂一層光刻膠 第二步：用掩膜板對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，在光刻膠上出現(xiàn)一條凹槽 第三步：然后濺射銅鎳，這樣銅鎳金屬就進(jìn)入凹槽中了。 第四步：洗掉光刻膠，那么半個(gè)導(dǎo)線(xiàn)就做出來(lái)了。 第五步：同樣的步驟，在刻好第一個(gè)金屬線(xiàn)的表面整體再涂一層光刻膠，然后如上步驟..... 這樣可行嗎？ |
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yswyx 
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11樓2014-09-12 11:51:25
reninhat
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2樓2014-09-04 17:16:15
ycyzrenlifei
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3樓2014-09-05 10:38:21
4樓2014-09-05 14:26:37
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