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1157322510金蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助：做過(guò)硅刻蝕的小伙伴們，RIE參數(shù)你們一般確定的多少？ 已有2人參與
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RIE參數(shù)：功率、氣體種類、氣體流量、壓強(qiáng)、時(shí)間。 對(duì)于硅的干法刻蝕，以上幾個(gè)RIE參數(shù)，大家都用的多少呢？你們一般用這樣的參數(shù)刻多深？ 我現(xiàn)在用的功率是70W，氣氛用的SF6，壓強(qiáng)25Pa（壓強(qiáng)會(huì)不會(huì)太大了），流量是10sccm，時(shí)間大概10min，刻蝕現(xiàn)在還沒(méi)有多大進(jìn)展？求教！��！ |
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甘道夫v5
新蟲 (初入文壇)
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2樓2014-10-29 16:56:22
通天教主
銀蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
3樓2015-03-11 22:15:47
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