版塊導(dǎo)航: 正在加載中...

應(yīng)《網(wǎng)絡(luò)安全法》要求，自2017年10月1日起，未進(jìn)行實(shí)名認(rèn)證將不得使用互聯(lián)網(wǎng)跟帖服務(wù)。為保障您的帳號(hào)能夠正常使用，請(qǐng)盡快對(duì)帳號(hào)進(jìn)行手機(jī)號(hào)驗(yàn)證，感謝您的理解與支持！

24小時(shí)熱門(mén)版塊排行榜

北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

返回列表

當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖

10jyu

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 880.5
紅花: 1
帖子: 38
在線: 26.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1399651
注冊(cè): 2011-09-13
專業(yè): 無(wú)機(jī)納米化學(xué)

[求助] 做接觸式曝光發(fā)現(xiàn)線條邊緣出現(xiàn)小線條是什么原因造成的��？已有2人參與

接觸式曝光什么原因造成了線條邊緣的這些小線條啊，求大神指教，以前沒(méi)做過(guò)光刻，謝謝啊

1.jpg

做接觸式曝光發(fā)現(xiàn)線條邊緣出現(xiàn)小線條是什么原因造成的��？-1

2.jpg

做接觸式曝光發(fā)現(xiàn)線條邊緣出現(xiàn)小線條是什么原因造成的啊？-2

3.jpg

回復(fù)此樓

» 本帖@通知

@lee0803

» 猜你喜歡

武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生已經(jīng)有26人回復(fù)
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟已經(jīng)有0人回復(fù)
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)? 已經(jīng)有190人回復(fù)
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生已經(jīng)有5人回復(fù)
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息已經(jīng)有0人回復(fù)
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢紡織大學(xué)_化工學(xué)院官方調(diào)劑群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-每屆發(fā)展好已經(jīng)有0人回復(fù)
河北大學(xué)材料與化工專業(yè)研究生（專碩）招收調(diào)劑生已經(jīng)有0人回復(fù)
河北大學(xué)無(wú)機(jī)化學(xué)專業(yè)招收調(diào)劑生已經(jīng)有0人回復(fù)

1樓 2014-10-29 09:56:11

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yswyx

專家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)

專家經(jīng)驗(yàn): +651
MN-EPI: 8
應(yīng)助: 807 (博后)
貴賓: 0.204
金幣: 2618.9
散金: 6018
紅花: 112
帖子: 2705
在線: 577.8小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 446878
注冊(cè): 2007-10-30
性別: GG
專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
管轄: 微米和納米

【答案】應(yīng)助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
10jyu: 金幣+20, ★★★★★最佳答案, 謝謝 2014-10-29 11:42:35

引用回帖:

3樓: Originally posted by 10jyu at 2014-10-29 10:31:51
這個(gè)是光刻膠顯影后的結(jié)構(gòu)，兩種掩膜做的，第一張圖片是用線條部分不透光的掩膜做的，第二和第三張是線條部分透光的掩膜做的，光刻膠是安智的GXR601正膠，圖片就是光刻膠的結(jié)構(gòu)，是衍射效應(yīng)造成的嗎？謝謝...

是衍射造成的。次級(jí)峰的劑量形成的痕跡。說(shuō)明靈敏度很高，但是對(duì)比度不好。
其實(shí)不用描述，僅僅從電鏡圖中左側(cè)三角部分的方形掃描痕跡就知道是不是膠，就知道這是原始的光刻顯影好的片子。
不明白2um的圖形為什么要用601這個(gè)膠…………

贊一下

回復(fù)此樓

4樓2014-10-29 11:10:48

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

查看全部 8 個(gè)回答

jeremyfrc

木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 130 (高中生)
金幣: 15099
散金: 1
紅花: 6
帖子: 486
在線: 113.2小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1728809
注冊(cè): 2012-03-31
性別: GG
專業(yè): 半導(dǎo)體科學(xué)與信息器件

【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

能不能描述一下，這是什么圖？都沒(méi)有寫(xiě)清楚，哪里是膠，哪里是你的材料，你的pattern是刻蝕的，還是liftoff的也沒(méi)說(shuō)。

贊一下

回復(fù)此樓

哈哈哈哈，來(lái)吧

2樓2014-10-29 10:09:09

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

10jyu

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 880.5
紅花: 1
帖子: 38
在線: 26.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1399651
注冊(cè): 2011-09-13
專業(yè): 無(wú)機(jī)納米化學(xué)

引用回帖:

2樓: Originally posted by jeremyfrc at 2014-10-29 10:09:09
能不能描述一下，這是什么圖？都沒(méi)有寫(xiě)清楚，哪里是膠，哪里是你的材料，你的pattern是刻蝕的，還是liftoff的也沒(méi)說(shuō)。

這個(gè)是光刻膠顯影后的結(jié)構(gòu)，兩種掩膜做的，第一張圖片是用線條部分不透光的掩膜做的，第二和第三張是線條部分透光的掩膜做的，光刻膠是安智的GXR601正膠，圖片就是光刻膠的結(jié)構(gòu)，是衍射效應(yīng)造成的嗎？謝謝

贊一下

回復(fù)此樓

3樓2014-10-29 10:31:51

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

jeremyfrc

木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 130 (高中生)
金幣: 15099
散金: 1
紅花: 6
帖子: 486
在線: 113.2小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1728809
注冊(cè): 2012-03-31
性別: GG
專業(yè): 半導(dǎo)體科學(xué)與信息器件

引用回帖:

3樓: Originally posted by 10jyu at 2014-10-28 19:31:51
這個(gè)是光刻膠顯影后的結(jié)構(gòu)，兩種掩膜做的，第一張圖片是用線條部分不透光的掩膜做的，第二和第三張是線條部分透光的掩膜做的，光刻膠是安智的GXR601正膠，圖片就是光刻膠的結(jié)構(gòu)，是衍射效應(yīng)造成的嗎？謝謝...

感覺(jué)像是衍射造成的。沒(méi)有用過(guò)電鏡，不是非常清楚電鏡的圖是什么樣的。不過(guò)你這個(gè)膠確實(shí)是非常小尺寸的膠，怎么說(shuō)用來(lái)做2um的尺寸都是蠻可惜的。你可以用大尺寸的膠試試看。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）

10jyu

哈哈哈哈，來(lái)吧

5樓2014-10-29 14:03:58

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

查看全部 8 個(gè)回答

普通表情龍兔虎貓

最具人氣熱帖推薦 [查看全部]		作者	回/看	最后發(fā)表

[考研] 材料調(diào)劑 +9	一樣YWY 2026-04-02	9/450	2026-04-02 18:19 by sprinining
[考研] 280求調(diào)劑 +8	咕嚕曉曉 2026-04-02	9/450	2026-04-02 16:52 by 1939136013狗壯
[基金申請(qǐng)] 請(qǐng)問(wèn)共同通訊和共同一作的認(rèn)可度問(wèn)題 10+4	psa1234 2026-04-01	8/400	2026-04-02 16:26 by psa1234
[考研] 材料專碩322分 +9	哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-02	9/450	2026-04-02 15:45 by zikuzi1853
[考研] 求調(diào)劑求調(diào)劑 +6	121. 2026-04-02	6/300	2026-04-02 15:26 by haironglove
[考研] 一志愿北京科技大學(xué)材料學(xué)碩328分求調(diào)劑 +6	1段時(shí)間 2026-03-31	7/350	2026-04-02 13:57 by 3041
[考研] 求調(diào)劑，一志愿南京師范大學(xué)計(jì)算機(jī)專碩，初試373，六級(jí)通過(guò)， +3	計(jì)算機(jī)追夢(mèng)人 2026-04-01	3/150	2026-04-02 07:57 by fxue1114
[考研] 英一數(shù)一408，總分284，二戰(zhàn)真誠(chéng)求調(diào)劑 +12	12.27 2026-03-30	14/700	2026-04-02 00:18 by 欣喜777
[考研] 一志愿南昌大學(xué)324求調(diào)劑 +12	hanamiko 2026-03-27	12/600	2026-04-01 22:34 by 運(yùn)氣yunqi
[考研] 307分求調(diào)劑 +14	(o~o) 2026-03-31	15/750	2026-04-01 20:43 by longlotian
[考研] 303分 0807學(xué)碩求調(diào)劑 +3	TYC3632 2026-04-01	3/150	2026-04-01 19:24 by lwk2004
[考研] 0856材料化工調(diào)劑總分330 +18	zhubinhao 2026-03-27	18/900	2026-04-01 09:37 by oooqiao
[考研] 375求調(diào)劑 +7	雨夏整夜 2026-03-29	7/350	2026-03-31 18:52 by xhai2011
[考研] 340求調(diào)劑 +4	希望如此i 2026-03-31	4/200	2026-03-31 16:40 by 690616278
[考研] 334求調(diào)劑 +7	Trying] 2026-03-31	7/350	2026-03-31 12:33 by 無(wú)際的草原
[考研] 一志愿西電085401數(shù)一英一299求調(diào)劑六級(jí)521 +4	愛(ài)吃大鴨梨 2026-03-31	4/200	2026-03-31 11:51 by 搏擊518
[考研] 285求調(diào)劑 +6	AZMK 2026-03-29	9/450	2026-03-30 21:02 by dophin1985
[考研] 343求調(diào)劑 +6	愛(ài)羈絆 2026-03-29	6/300	2026-03-29 12:00 by 無(wú)際的草原
[考研] 298求調(diào)劑 +4	種圣賜 2026-03-28	4/200	2026-03-29 08:42 by q1092522407
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑 +8	邱gl 2026-03-27	8/400	2026-03-28 12:42 by 唐沐兒