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[交流]
硅片在腐蝕后在光鏡下為什么形成亮區(qū)和暗區(qū)?
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求教各位大神: 我拿HF酸+硝酸銀的腐蝕液對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕,拿超景深顯微鏡觀察硅片表面(原拋光面)。在表面上由于腐蝕的各向異性出現(xiàn)了腐蝕坑。 我的問題是:為什么在超景深顯微鏡下,硅片上有的區(qū)域較亮,有的區(qū)域較暗呢? 硅片腐蝕圖.jpg |
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