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chc33新蟲 (初入文壇)
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[求助]
細(xì)線寬掩膜版 已有1人參與
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| 請(qǐng)問各位現(xiàn)在像32nm及以下尺寸線寬的Cr掩膜版是如何制作的？是電子束直寫嗎？在圖像從光刻膠轉(zhuǎn)移到鉻膜上時(shí)是如何刻蝕的，如果濕法腐蝕的話鉻不是各向同性的嗎，那么線寬很難控制吧？望高人指點(diǎn)，謝謝 |
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crazy大象
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4樓2020-01-30 12:16:55
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5樓2020-02-03 08:20:44
babyoflion
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6樓2020-02-03 08:21:00
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