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用光熱偏轉(zhuǎn)譜PDS測試非晶薄膜缺陷濃度的疑問？
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非晶薄膜的缺陷濃度測試，我查到用光熱偏轉(zhuǎn)譜PDS進(jìn)行測試，求問誰知道非晶薄膜的濃度缺陷應(yīng)該怎么測試嗎？ 光熱偏轉(zhuǎn)譜在哪里可以測試呢？ 謝謝 我參考的文章是1996年的一篇“用光熱偏轉(zhuǎn)譜擬合計(jì)算研究非晶硅缺陷態(tài)及其穩(wěn)定性“ |
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