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[求助]
PMGI 和S1805光刻膠稀釋液 已有2人參與
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| 大家好，請問PMGI 和S1805光刻膠稀釋液各是什么？PMGI可以和AR P3170系列光刻膠實(shí)現(xiàn)雙層膠剝離工藝嗎？（注，我的工藝順序：1）coating光刻膠，2）coating PMGI，）3）通過特殊掩膜板對光刻膠曝光，4）去除PMGI并顯影） |
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yswyx 
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5樓2014-11-28 11:54:12
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2樓2014-11-28 00:23:01
3樓2014-11-28 07:40:50
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4樓2014-11-28 09:16:14
6樓2014-11-28 12:28:31
7樓2014-12-02 16:07:13
yswyx
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8樓2014-12-02 18:58:42
9樓2014-12-02 19:40:10
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在Si襯底上先涂S1805（或AR P3170）光刻膠，烘干，厚660nm；后涂負(fù)膠PGMI ,烘干，測兩層膠總厚度，只有80nm. 懷疑PGMI 的溶劑能溶解S1805光刻膠。不知實(shí)驗(yàn)怎么辦  另外考慮引入翻轉(zhuǎn)工藝，先在Si襯底蒸鍍Au 50nm，然后依次涂PGMI和S1805，最后在另一塊Si片上滴膠水，將Si片與樣片的S1805一側(cè)粘在一起，隨后稍微用力，Au膜與Si片分離且從S1805光刻膠面脫落下來。（不知這樣做可行不，此外，蒸鍍的Au膜的RMS可以達(dá)到多少呢，能小于1nm嗎）。 如果您知道，希望給點(diǎn)建議，謝謝! |
10樓2014-12-03 22:14:49
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